微电子行业受到计算机和电信市场扩张以及汽车、军事和工业电子市场不断增长的推动,发展速度非常迅速。由于微电子元件的生产越来越小,对水质的要求极高,给工艺用水的净化带来了巨大的压力。
尤其在半导体的制造过程中需要消耗掉大量的水源,尤其是半导体制程需要使用超纯水,而制作超纯水的过程需使用几倍的自来水,用水量相当惊人。
应用领域:超纯水生产
Superfoss的解决方案
粗滤和精滤——海水淡化/脱矿质——消毒——加热/冷却
技术概览
介质过滤——活性炭——反渗透——电去离子——离子交换——抛光混床——超滤——紫外线消毒——紫外线(TOC 降低)——超纯水监测